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Das neue Polytec UHF-120-SV Ultrahochfrequenz-Vibrometer von Polytec erfasst hochfrequente Schwingungen bei Schwingfrequenzen bis 1,2 GHz oder Spitzengeschwindigkeiten bis 150 m/ s sowie transiente Bewegungsvorgänge nach dem Prinzip der optischen Doppler-Interferometrie. Es erlaubt die direkte Messung und Visualisierung neuartiger mikroelektromechanischer oder mikroelektronischer Bauelemente wie RF-MEMS (eingesetzt u.a. in Mobiltelefonen), NEMS, Ultraschalltransducern (Medizintechnik) oder SAW- und BAW-Filtern (Mikroelektronik). Die Visualisierungsmethode ist vergleichbar mit einer Kamera, die winzige Schwingungsamplituden (

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